安装净化空调系统、水、气净化装置和电气设备的房间是洁净车间的重要组成部分。在洁净厂房建设中，其面积占有很大的比重。其规模、设备特点、机房的位置以及配气管道系统的布置，都对洁净厂房建筑的空间组合和规模有重要影响。为了获得良好的使用效果和经济效果，必须解决它们与生产工艺的关系。

各种类型的机房主要通过管线连接到洁净生产区域，可以与其所服务的洁净车间一起建造，也可以单独建造。建在一个工厂在关节,可以缩短管子的长度,减少管接头和相应的泄漏污染,减少能源消耗,节省土地的同时,减少消费,户外工程和外墙材料的房间清洁外,还可以减少清洁室外墙区域,减少室外围护结构的清洁散热。但有些技术改造项目为了使用原有房屋，或受特殊条件限制，单独建设净化空调房，与净化装置保持一定距离。另外，如项目对防震有特殊要求，机房和车间也可单独布置。

当空调净化室位于无尘室工程车间时，空气洁净度等级、面积、生产工艺特点、抗污染或抗交叉污染要求和运行时间，应考虑洁净车间的班次等因素，合理划分洁净车间的洁净度，确定相应的机房布局。

首先是集中式设置。车间内机房的布置主要集中在生产工艺布置的特点、要求及回风管的长度等因素。


如果厂房面积不大，系统简单，管道穿越不多，回流总管可布置在技术夹层上部;如果厂房面积较大，或系统划分较多，则应沿长边布置厂房，系统可直接与洁净室对应布置;若厂房面积较大，或系统较长，回流干管方向与屋面承重构件平行，可充分利用空间。有些无尘室工程，机房位于夹层工艺的顶部，这样不仅可以缩短风管的长度，还可以节省土地。

分散设置，厂房面积较大或洁净生产区域过于分散，机房集中设置造成布局困难，经过技术经济比较，几间机房也可以分散设置。由于原有房屋空间的限制，在技术改造工程中，往往需要在每个洁净室附近设置净化空调设备。分布式布置的风道较短、灵活，能较好地适应和利用原有空间，但在实际应用中应充分考虑噪声和振动对生产的影响。

混合式结构，在一些项目中，既采用集中净化空调房用于最清洁生产的净化空调设备，又针对特定的局部空间采用分散净化空调设备，以满足生产工艺的需要，它结合了集中与分散的特点，经济更加灵活，满足了生产的需要。

近年来，大型集成电路生产洁净室厂房经常采用隧道送风、集中送风和风机过滤器(FFU)送风。各类机房的布置基本是“混合设置”，即新风处理机组集中设置和循环空气处理机组分散设置。