无尘车间如何设计规划?无尘室是指排除特定空间内空气中的微粒、有害空气、细菌等污染物,并将室内温度、清洁度、室内压力、气流速度和气流分布、噪音振动和照明、静电等控制在规定要求范围内,并经专门设计的房间。让我们一起来了解一下:
众所周知,房屋建造之前,首先要进行设计,无尘车间也不例外,首先要进行设计规划才能进行施工,最后才能投入使用。
对车辆行驶路线、配管系统、排气管、原料处理及作业流程等进行分析,尽量缩短动线,避免交叉,防止交叉污染。操作人员、化学产品、物料等不能集中移动;无尘车间四周宜设置缓冲;生产设备不能随意进出,不影响生产。
节能原则:
在无尘车间中存在着大量节省能源的场所,如暖气、通风和空调(HVAC)、过程冷却、压缩空气和其它一些设备。整个晶片制造工厂都使用了HVAC系统耗电量的一半以上。导致大量电力浪费和HVAC容量过剩的主要原因是在工厂的设计和建造过程中,为了节省成本,在不考虑后期运行费用的情况下,尽量压缩前期投入。设计高效、高效的设备需要大量的前期投入。
选址的原则:
无尘车间地址的选择,应遵循生产效益好,生活方便,投资节约,运行费用低的原则。工厂所在地应位于自然环境和水质较好、大气含尘量较低、因地形、地物、地貌造成的小气候有利于生产和节能的地区,应远离大量散发粉尘、烟、有毒气体和微生物的地区,如机场、铁路、码头、交通要道等污染源的上风侧和全年主风方向,并有一定的防护距离。车间和主要道路之间的无尘距离应大于50米。
无尘室最主要的作用是控制产品(如硅片等)与大气的接触度和温度,使产品能够在良好的环境空间中生产、制造,这种空间我们称之为无尘室。